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產品詳細頁
薄膜厚度儀

薄膜厚度儀

  • 產品介紹:薄膜厚度儀利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。Delta根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
  • 產品型號:Delta
  • 更新時間:2020-04-13
  • 廠商性質:生產廠家
  • 產品品牌:
  • 產品廠地:廣州市
  • 訪問次數:1098
  • 在線留言 020-34498462

產品介紹

價格區間面議

薄膜厚度儀產品特點

快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

薄膜厚度儀應用案例

應用領域

                      半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)         LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)                                   

LED (SiO2、光刻膠ITO等)                      觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等) 

               

 汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)             醫學(聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等)

技術參數

型號

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

波長范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準確度1

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

XY可選

 

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